涂层对象品（工件）的装设

用夹具将涂层对象品（工件）固定工件转架台上。
操作时必须小心，以免工件互相干扰或在处理过程中掉落。

真空处理

将处理炉（腔室）真空排气，直至不影响涂层形成的真空条件（基础压力）。如果炉内残留的空气量超过允许量，在下一个"加热"工序中，工件表面会形成一层氧化膜，导致附着不良。

加热

将工件表面上附着的杂质（主要是水分）蒸发掉。
即使是非常少量的水分，也会造成附着不良，因此必须对炉内温度进行适当的管理和控制，并且所有工件都必须充分加热。

刻蚀

用氩离子在工件表面撞击，去除杂质（主要是氧化膜）。
神户制钢所的设备可产生强大的Ar气体等离子，并进行均匀的控制，实现理想的刻蚀效果和出色的涂层附着力。

涂层

在涂层用的金属材料与处理炉（腔室）之间进行电弧放电，金属材料会气化为等离子态，将镀膜元素离子化。随后，只要在工件上施加负电压，离子化后的元素就会高速撞击工件，形成涂层。

利用不同的金属材料和加工条件，可以实现各种涂层特性，例如耐磨性、耐热性等。此外，使用多种金属材料，还可形成多元素合金膜或其层压膜。改变注入到处理炉中的气体种类和量，可以涂层添加有碳等气体元素的膜。

冷却、通风

将氮气或氦气注入处理炉中，促进冷却。
在某些类型的涂层对象品（工件）上，可能会发生变色（附着回火色），因此需要注意注入空气的时间点。