混合系列

设备介绍

将神户制钢所的两种主要蒸发源合并到一个设备中的混合设备。
主要用作研发设备，有助于在各种工业领域开展高性能涂层的研发、扩大生产的可能性。

可进行高端&原创的涂层

配备两种蒸发源（AIP®和UBMS®），可交替或同时放电，实现复杂且高端的涂层。

符合CE标准、UL标准，还可满足客户自己的安全标准

可根据海外安全标准变更规格。此外，对于客户公司自己规定的内部安全标准，也可以根据要求应对。