AIP®-iX系列

设备介绍

刷新了AIP核心技术的电弧阴极单元和刻蚀系统，并配备了突破性的新控制系统，是一款一体机式顶级新机型
为客户创新做出贡献的新一代涂层装置

新型阴极μ-ARC

提升AlCrN涂层的铝含量和表面粗糙度
通过高铝形成的立方晶AlCrN涂层，可提高硬度和表面粗糙度。形成立方晶AlCrN的金属元素中，一般铝含量极限值约为65at%，但通过新型阴极μ-ARC,铝含量可以达到70at%以上。

新型刻蚀系统Me-FAPE

提高了对凹槽部的刻蚀效果
新型刻蚀系统Me-FAPE提高了凹槽部的结合力，还改善了处理空间内刻蚀效果的均匀性。μ-ARC和Me-FAPE的组合大幅提升了传统高端刀具的寿命。

新控制系统　设备状态变动可视化功能/大型显示器

采用了新一代监测系统，相比过去具有飞跃性的突破，能够更广范围采集生产数据。分析数据有助于在发生问题时顺利确定其原因。
此外，积累每炉次数据，可观测到设备状态变化情况，更容易安排保养计划。