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蒸发源（阴极）介绍

电弧蒸发源产品阵容

自从开始PVD事业以来，神户制钢所一直致力于开发核心技术――――"蒸发源"。
S系列中，涵盖了具有不同特点的四种蒸发源。可从普通阴极（NC）、超级阴极（SC）、精细阴极（FC）、超精细阴极（SFC）中，选择适合不同用途的蒸发源。
此外，还可根据要应用的用途、客户的业务内容等推荐适合的蒸发源，定制设备（变更设计和规格）。

ノーマルカソード、スーパーカソード、ファインカソード、スーパーファインカソードのそれぞれ特徴のある４タイプの蒸発源

用于ta-C涂层的电弧蒸发源

新开发用于涂层近年来广受关注的"ta-C涂层（碳膜）"的蒸发源。
AIP®-S系列也已可以涂层"ta-C涂层（碳膜）"。

KOBELCO碳蒸发源的特点
  1. 1. Stable稳定的放电提高了靶材利用率并实现了长时间运行
  2. 2. Smooth无需过滤器即可获得光滑的涂层
  3. 3. Simple 结构简单，更换靶材方便

凭借开发平板型和杆型靶材的经验和技术，优化了磁场设计。开发了用于ta-C涂层的"圆形棒状型碳蒸发源"。

用于ta-C涂层的电弧蒸发源
什么是ta-C膜
"无氢DLC（ta-C Tetrahedral Amorphaous Carbon）"

它的特点是硬度高，且在特定的润滑油下摩擦系数低。广泛应用于铝切削工具、气门挺杆等汽车滑动零部件。

什么是ta-C膜

溅射式蒸发源（UBMS®）

"UBMS®（非平衡磁控溅射）"是神户制钢所自主研发的溅射式蒸发源。这种方式是用气体离子与涂层原料――――靶材碰撞，在工件上涂层溅射的原子，所以可以形成表面粗糙度比"AIP®（电弧离子镀）"更好的涂层。此外，还能涂层"DLC（类金刚石碳）"，因此在对表面光滑度要求较高的汽车零部件、模具等用途，获得了广泛好评。

KOBELCO"UBMS®"的特点
  1. 1. 与传统的溅射方法不同，采用非平衡磁场，可以在涂层过程中增强等离子
  2. 2. 优化磁场配置，改善对于膜质量控制非常重要的离子辅助效果
  3. 3. 设计DLC涂层中间层的结构，实现高附着力
UBMS
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