ABOUT
KOBELCO的
PVD涂层设备的特点
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可提供丰富多元化的涂层工艺。
神户制钢设备可以实现各种涂层。根据客户的用途，提供最合适的涂层以及工艺配方。
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业绩可靠值得信赖的PVD涂层设备
神户制钢所从1986年开始销售了600台以上的涂层设备，受到世界各国顾客长期的惠顾。我们以可靠的业绩为基础，提供优质的设备
AIP-iX MOVIE
4分钟就能知道AIP-iX
AIP-iX做出三点
00:33
新型阴极μ-ARC
00:57
新型刻蚀系统Me-FAPE
02:05
新控制系统
03:20
一体机
03:53
新型阴极μ-ARC
提升AlCrN涂层的铝含量和表面粗糙度
通过高铝形成的立方晶AlCrN涂层，可提高硬度和表面粗糙度。
形成立方晶AlCrN的金属元素中，一般铝含量极限值约为65at%，但通过新型阴极μ-ARC,铝含量可以达到70at%以上。可以预测以该技术为基础，开启了涂层开发新趋势。AIP-iX系列今后将为客户的涂层开发做出贡献。
新型刻蚀系统Me-FAPE
提高了对凹槽部的刻蚀效果
新型刻蚀系统Me-FAPE提高了凹槽部的结合力，还改善了处理空间内刻蚀效果的均匀性。
μ-ARC和Me-FAPE的组合大幅提升了传统高端刀具的寿命。
新控制系统
设备状态变动可视化功能／大型显示器
采用了新一代监测系统，相比过去具有飞跃性的突破，能够更广范围采集生产数据。分析数据有助于在发生问题时顺利确定其原因。此外，积累每炉次数据，可观测到设备状态变化情况，更容易安排保养计划。
SPECIFICATION
主要规格
- 设备占地面积
- 设备本体:5m (W) x 2m (D)
推荐设置面积:7m (W) x 4.6m (D) - 设备布局
- 一体机
- 海外规格
- UL/CE选项
- 输入电压
- 200-220V / 50-60 Hz
- 工作台直径
- 650 mm
- 处理高度
- 350 mm
- 标准轴数
- Φ130 mm x 10轴，其它
- 工作台承重
- 最大500kg
- 蒸発源数/面（全体）
- 最大3段×4面
- 阴极
- 新型阴极μ-ARC (可选配其它阴极)
- 刻蚀源
- 新型Me-FAPE
- 控制系统
- 设备状态变动可视化功能
快速记录日志 (选配)
大型显示器
